Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη θέρμανση και την εξατμίωση των αλογονίων μετάλλων, των μεταλλικών οργανικών ενώσεων,υδρογονάνθρακες και άλλες πηγές αντίδρασης υπό ειδική πίεση για την παραγωγή στερεών ιζημάτων στην επιφάνεια του υλικού-στόχουΧρησιμοποιείται επίσης για την χημική εναπόθεση ατμών σύνθετων υλικών με αέριο υδρογονανθράκων (όπως C3H8, κλπ.) ως πηγή άνθρακα, όπως σύνθετα υλικά C / C, σύνθετα SiC
υλικά, CVD, επεξεργασία CVI.