Φούρνος χημικής απορρόφησης ατμών για μεταλλικές οργανικές ενώσεις

Το φούρνο αποθέματος ατμού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη θέρμανση και την εξατμίλωση των αλογονίων μετάλλων, των μεταλλικών οργανικών ενώσεων,υδρογονάνθρακες και άλλες πηγές αντίδρασης υπό ειδική πίεση για την παραγωγή στερεών ιζημάτων στην επιφάνεια του υλικού-στόχουΧρησιμοποιείται επίσης για χημική εναπόθεση ατμών σύνθετων υλικών με αέριο υδρογονανθράκων (όπως C3H8, κλπ.) ως πηγή άνθρακα, όπως σύνθετα υλικά C / C, σύνθετα υλικά SiC, CVD,Επεξεργασία CVI.

Χαρακτηριστικά:

1) Σε μέση ή υψηλή θερμοκρασία, σχηματίζεται στερεό υλικό και αποθηκεύεται στη μήτρα μέσω της χημικής αντίδρασης στην αέρια φάση μεταξύ των αρχικών ενώσεων στην αέρια φάση.

2) Μπορεί να αποθηκευτεί υπό ατμοσφαιρική πίεση ή υπό κενό (αρνητική πίεση, συνήθως η ποιότητα της ταινίας αποθέματος κενού είναι καλύτερη).

3) Η χρήση της τεχνολογίας πλάσματος και υποβοηθούμενης από λέιζερ μπορεί να προωθήσει σημαντικά τη χημική αντίδραση, έτσι ώστε η εναπόθεση να μπορεί να πραγματοποιηθεί σε χαμηλότερη θερμοκρασία.

4) Η χημική σύνθεση της επικάλυψης μπορεί να μεταβάλλεται με την αλλαγή της σύνθεσης της αέριας φάσης, έτσι ώστε να λαμβάνεται ιζήματα κλίσης ή μικτή επικάλυψη.

5) Μπορεί να ελέγχει την πυκνότητα της επικάλυψης και την καθαρότητα της επικάλυψης.

6) γύρω από τα επιχρισμένα μέρη. Μπορεί να επικαλυφθεί σε σύνθετο σχήμα μήτρα και κόκκινο υλικό. Κατάλληλο για την επικαλύπτωση όλων των ειδών των σύνθετων σχημάτων του εργαστηρίου. Λόγω της καλής απόδοσης της επικαλύψεως,μπορεί να επικαλυφθεί με αυλακώσεις, αυλακώσεις, τρύπες, ακόμη και τυφλές τρύπες του εργαστηρίου.

7) Το εναποθετημένο στρώμα έχει συνήθως στήλη κρυσταλλικής δομής και δεν είναι ανθεκτικό στην κάμψη,αλλά η δομή του μπορεί να βελτιωθεί με διαταραχή της αέριας φάσης της χημικής αντίδρασης μέσω διαφόρων τεχνικών.

8) μπορεί να σχηματίσει μια ποικιλία επιχρίσεων μετάλλου, κράματος, κεραμικής και σύνθετων με διάφορες αντιδράσεις.