Εξοπλισμός αποθέσεως CVD για την προετοιμασία υλικών ημιαγωγών με λεπτό στρώμα

Λεπτομέρειες για το προϊόν

Μάρκα: Jingtan

Πιστοποίηση: CE

Όροι πληρωμής και αποστολής

Ποσότητα παραγγελίας min: 1 σύνολο

Τιμή: USD12,000-100,000/SET

Συσκευασία λεπτομέρειες: Εφοδιασμός με ξύλινη θήκη

Χρόνος παράδοσης: 60 ημέρες

Όροι πληρωμής: Ε/Κ/Τ/τ

Δυνατότητα προσφοράς: 30 κομμάτι/κομμάτια ανά Τέταρτο

Πάρτε την καλύτερη τιμή

Επαφή τώρα

Προδιαγραφές

Περιγραφή

Προδιαγραφές

Επισημαίνω: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              Εξοπλισμός αποθέματος για υλικά ημιαγωγών, Φούρνος CVD για υλικό ημιαγωγών
                                                  

Χώρος καταγωγής:	Χουνάν, Κίνα	Τύπος:	φούρνος επαγωγής
Χρήση:	φούρνος αποθέσεως	Ελέγχος εξόδου με βίντεο:	Παροχή
Έκθεση δοκιμής μηχανής:	Παροχή	Βασικά συστατικά:	ΠΛΚ
brand name:	Jingtan	Τετάρτη:	380
Βάρος (T):	2 Τ	Δύναμη (kW):	220
Βασικά σημεία πώλησης:	Ανταγωνιστική τιμή	Θέρμανση σχεδιασμού (°C):	1250-2200
Ανησυχητική θερμοκρασία:	900-1200°C	Ταχύτητα αύξησης της πίεσης (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Μέθοδος θέρμανσης:	αντίσταση/εμφάνιση	Ατμόσφαιρα εργασίας:	κενό/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Τύπος κλιβάνου:	Τετράγωνο/στρογγυλόΚοντά/οριζόντια	Τρόπος ψύξης του φούρνου:	ψύξη νερού με κελύφη κλιβάνου
Υπερκόκκινο όργανο:	μονό/διπλό χρωματιστομετρικό	Ομοιότητα θερμοκρασίας:	±5
Περιορισμός κενού Στον βαθμό ((Pa):	1-100	Τύπος εμπορίας:	Συνηθισμένο προϊόν
Εγγύηση βασικών εξαρτημάτων:	1 έτος	Εφαρμόσιμες βιομηχανίες:	Άλλα, ημιαγωγούς

Χώρος καταγωγής:	Χουνάν, Κίνα
Τύπος:	φούρνος επαγωγής
Χρήση:	φούρνος αποθέσεως
Ελέγχος εξόδου με βίντεο:	Παροχή
Έκθεση δοκιμής μηχανής:	Παροχή
Βασικά συστατικά:	ΠΛΚ
brand name:	Jingtan
Τετάρτη:	380
Βάρος (T):	2 Τ
Δύναμη (kW):	220
Βασικά σημεία πώλησης:	Ανταγωνιστική τιμή
Θέρμανση σχεδιασμού (°C):	1250-2200
Ανησυχητική θερμοκρασία:	900-1200°C
Ταχύτητα αύξησης της πίεσης (Pa/h):	0.67Pa/h ((150Pa/24h)
Μέθοδος θέρμανσης:	αντίσταση/εμφάνιση
Ατμόσφαιρα εργασίας:	κενό/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
Τύπος κλιβάνου:	Τετράγωνο/στρογγυλόΚοντά/οριζόντια
Τρόπος ψύξης του φούρνου:	ψύξη νερού με κελύφη κλιβάνου
Υπερκόκκινο όργανο:	μονό/διπλό χρωματιστομετρικό
Ομοιότητα θερμοκρασίας:	±5
Περιορισμός κενού Στον βαθμό ((Pa):	1-100
Τύπος εμπορίας:	Συνηθισμένο προϊόν
Εγγύηση βασικών εξαρτημάτων:	1 έτος
Εφαρμόσιμες βιομηχανίες:	Άλλα, ημιαγωγούς

Περιγραφή

Εξοπλισμός αποθέσεως CVD για την προετοιμασία υλικών ημιαγωγών με λεπτό στρώμα

Ειδικότητα:

Φούρνος αποθέματος υπό κενό:

Χρησιμοποιείται κυρίως για την παρασκευή σύνθετων υλικών άνθρακα-άνθρακα και ο φούρνος αποθέσεων χρησιμοποιείται κυρίως για την παρασκευή πυρολυτικής επικάλυψης άνθρακα στην επιφάνεια του γραφίτη,Ηλεκτρονικές συσκευές και ανθεκτικά στη θερμότητα υλικά καθαρισμού.

Παράμετρος/Αριθμός μοντέλου	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
Μέγεθος ζώνης εργασίας φ × H ((mm)	300 × 500	500 × 500	600 × 800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
Υψηλότερη θερμοκρασία (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
Ομοιόμορφη θερμοκρασία ((°C)	±5	±5	±5/±7.5	±7,5/±10	±7,5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
Περιορισμός βαθμού κενού ((Pa)	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100	1 έως 100
Περιορισμός βαθμού κενού ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Μέθοδος θέρμανσης	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση	Αντίσταση/εμφάνιση

Θέρμανση σχεδιασμού	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
Κοινή θερμοκρασία	900~1200°C
Βαθμός κενού	< 50Pa
Ταχύτητα αύξησης της πίεσης	6.67pA/h (ή 150Pa/24h) σε ψυχρή κατάσταση κενού κλιβάνου
Τρόπος θέρμανσης	θέρμανση αντίστασης γραφίτη ή θέρμανση επαγωγής, ανεξάρτητος έλεγχος θερμοκρασίας, καλή ομοιομορφία θερμοκρασίας
Μέσο ατμόσφαιρας	κενό /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

Τρόπος ελέγχου αερίου	Ελέγχος μέτρου ροής μάζας, πορεία αερίου πολλαπλών καναλιών, ομοιόμορφο πεδίο ροής, χωρίς νεκρή γωνία εναπόθεσης, καλό αποτέλεσμα εναπόθεσης·Πολυεπίπεδο και αποτελεσματικό σύστημα επεξεργασίας καυσαερίων, φιλικό προς το περιβάλλον,εύκολο στο καθαρισμό
Τύπος κλιβάνου	τετράγωνη, στρογγυλή, κατακόρυφη ή οριζόντια δομή (μη τυποποιημένη σχεδίαση), πλήρως κλειστό θάλαμο αποθέσεων, καλή επίδραση σφράγισης, ισχυρή ικανότητα για την καταπολέμηση της ρύπανσης·
Τρόπος ψύξης του φούρνου	ψύξη νερού από το κέλυφος του φούρνου, μπορεί να επιλεγεί σύστημα γρήγορης ψύξης εξωτερικής κυκλοφορίας, σύντομο χρόνο ψύξης, υψηλή παραγωγή αποτελεσματικότητα·

Φόρμα δομής	οριζόντια - πλευρική εκφόρτιση, κατακόρυφη - άνω/κάτω εκφόρτιση
Τρόπος κλεισίματος	χειροκίνητο/αυτόματο
Υλικό κελύφους	εσωτερικό ανοξείδωτο χάλυβα/όλο το ανοξείδωτο χάλυβα
Υλικό μόνωσης	Φιλτό άνθρακα/φιλτό γραφίτη/φιλτό από ανθρακονήματα
Υπερκόκκινο όργανο	μονοχρωματική/διπλή χρωματική
Ηλεκτρική τροφοδοσία	KGPS/IGBT ((μόνο κατάλληλο για θέρμανση μεσαίας συχνότητας) Παραμέτρο προϊόντος: