Τρόπος κλειδώματος πόρτας Φούρνος αποθέσεως κενού για συσκευές γραφίτη και ημιαγωγών

Ο φούρνος αποθέσεως κενού χρησιμοποιείται για την παρασκευή σύνθετων υλικών άνθρακα-άνθρακα,και ο φούρνος εναπόθεσης χρησιμοποιείται κυρίως για την παρασκευή πυρολυτικής επικάλυψης άνθρακα στην επιφάνεια του γραφίτη, ημιαγωγικές συσκευές και ανθεκτικά στη θερμότητα υλικά καθαρισμού.

Πεδίο εφαρμογής:

Γκραφίτη, ημιαγωγούς, ανθεκτικά στην θερμότητα υλικά.

1Βασικές παραμέτρους:

1) Θέρμανση σχεδιασμού: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) Κοινή θερμοκρασία: 900~1200°C

3) βαθμός κενού: < 50Pa

4) Αύξηση πίεσης: 6,67 pA/h (ή 150 Pa/24h) σε ψυχρή κατάσταση κενού κλιβάνου

5) Τρόπος θέρμανσης: θέρμανση αντίστασης γραφίτη ή θέρμανση επαγωγής, ανεξάρτητος έλεγχος θερμοκρασίας, καλή ομοιομορφία θερμοκρασίας

6) Μέσο ατμόσφαιρας: κενό /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7) Τρόπος ελέγχου αερίου: έλεγχος του μέτρου ροής μάζας, πολλαπλής διαδρομής αερίου, ομοιόμορφο πεδίο ροής, χωρίς νεκρή γωνία εναπόθεσης, καλή επίδραση εναπόθεσης.

Πολυεπίπεδο και αποτελεσματικό σύστημα επεξεργασίας καυσαερίων, φιλικό προς το περιβάλλον, εύκολο στο καθαρισμό·

8) Τύπος φούρνου: τετράγωνη, στρογγυλή, κατακόρυφη ή οριζόντια δομή (μη τυποποιημένη σχεδίαση), πλήρως κλειστός θάλαμος αποθέσεων, καλή επίδραση σφράγισης, ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης·

9) Τρόπος ψύξης του κλιβάνου: ψύξη νερού στο κέλυφος του κλιβάνου, μπορεί να επιλεγεί σύστημα γρήγορης ψύξης εξωτερικής κυκλοφορίας, σύντομο χρόνο ψύξης, υψηλή αποδοτικότητα παραγωγής.

2- Δομή του φούρνου αποθέσεως κενού:

Σχήμα δομής: οριζόντια - πλευρική εκφόρτωση, κατακόρυφη - άνω/κάτω εκφόρτωση

Τρόπος κλειδώματος πόρτας φούρνου: χειροκίνητο/αυτόματο

Υλικό κελύφους φούρνου: εσωτερικό ανοξείδωτο χάλυβα/όλο το ανοξείδωτο χάλυβα

Υλικό μόνωσης: χαλκόφιλτο/χαλκό γραφίτη/χαλκόφιλτο από ανθρακικές ίνες

Υλικό θέρμανσης, θωρακιστής: γραφίτη/CFC

Υπερυθρό όργανο: μονοχρωματικό/διπλό χρωματικό

Ηλεκτρική τροφοδοσία: KGPS/IGBT ((μόνο κατάλληλη για θέρμανση μεσαίας συχνότητας)

Προδιαγραφή του προϊόντος: