Φούρνος αποθέσεως ατμών υψηλής αντοχής σε θερμοκρασία με πλήρως κλειστή δομή

Πroduct Χρήση:

Ο φούρνος αποθέσεως ατμών χρησιμοποιείται για την επεξεργασία CVD/CVI της επιφάνειας ή της μήτρας του υλικού με αέριο υδρογονανθράκων (όπως C3H8, CH4, κλπ.) ως πηγή άνθρακα,και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την επιφανειακή επίστρωση του υλικού, τροποποίηση μήτρας, προετοιμασία σύνθετου υλικού κλπ.

Χαρακτηριστικά του προϊόντος:

Η μέθοδος ηλεκτρικής θέρμανσης έχει τα χαρακτηριστικά της ομοιόμορφης θέρμανσης, της απλής λειτουργίας, του εύκολου ελέγχου και συντήρησης.

Ο φούρνος είναι κατασκευασμένος από ειδικά υλικά με ισχυρή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τα οποία μπορούν να αντέξουν το βάρος των θερμαντικών στοιχείων υψηλής θερμοκρασίας και των βαρέων εξαρτημάτων.και έχει εξαιρετικές επιδόσεις σφράγισης, η οποία μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά τη μόλυνση των ιζημάτων που αναπτύσσονται στο υπόστρωμα.

Ευφυής έλεγχος πίεσης, μικρές διακυμάνσεις πίεσης.

Η πλήρως κλειστή δομή έχει καλή θερμική σταθερότητα, καλή επίδραση σφράγισης και ισχυρή ικανότητα κατά της ρύπανσης.

Πολυκαναλική πορεία αερίου, ομοιόμορφη ροή, χωρίς νεκρή γωνία αποθέσεως, καλή επίδραση αποθέσεως.

Πολλαπλό σταδίο υψηλής απόδοσης συστήματος επεξεργασίας καυσαερίων, φιλικό προς το περιβάλλον, αποτελεσματική συλλογή πίσσας και υποπροϊόντων, εύκολο στο καθαρισμό·

Η μέθοδος ψύξης υιοθετείται, το κέλυφος ψύχεται με νερό, το σύστημα γρήγορης ψύξης εξωτερικής κυκλοφορίας μπορεί να επιλεγεί, ο χρόνος ψύξης είναι σύντομος και η αποδοτικότητα παραγωγής είναι υψηλή.

 
Προδιαγραφή του προϊόντος